ステッピングモータ駆動式精密レギュレータRS・M/Sシリーズ
高精度制御
感度0.1%F.S.、ヒステリシス±0.1%F.S.という高精度の空気圧制御- 優れた特性
- リリーフ特性、圧力特性、流量特性が非常に優れています。
リリーフ最小圧力(リリーフ感度)は0.03kPa(理論計算値)
- 優れた始動安定性
- 長時間使用しなかった後でも以前の設定のまま始動しますので、再調整は必要ありません。
- 長期間の圧力安定性
- 圧力設定後、設定圧を長期間正確に保持します。設定後の圧力降下はほとんどありません。
- 高い圧力分解能
- 5相ステッピングモータ駆動により、1ステップの駆動で設定圧をわずかだけ、確実に変えることができます。マイクロステップ駆動にすれば、圧力分解能0.1 kPa以下という高分解能設定が可能です。
- 停電しても圧力を保持
- 突然の停電でも、2次圧は設定圧を保持します。