超精密減圧弁エアリレーRRシリーズ
他の減圧弁より入力される外部パイロット圧により2次側圧力を可変できるエアーオペレート型の減圧弁です。
圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を用いておりますので、精密な圧力調整が可能なクリーンルーム対応超精密レギュレータです。
- クリーン仕様
- 部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。
- マニホールド対応
- マニホールド配管が可能です。
- 排気ポートを設備
- リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続できますので、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。
- 高精度
- 感度0.1%F.S.、繰り返し再現性±0.1%F.S.という高精度の圧力制御が可能です。